[Patent] 금속 나노 막대의 제조방법

image





금속나노막대의 제조방법, 이한보람, 김형준, 구길호, 박찬경


요약





본 발명은 플라스마 원자층 증착법(plasma-enhanced atomic layer deposition; PE-ALD)을 이용하여 금속 나노 구조물을 제작함에 있어서, 그 형상을 정확하게 조절할 수 있는 방법에 관한 것이다.


본 발명에 따른 제조방법에 의하면, 금속 나노 구조물의 길이는 정해진 성장속도를 기본으로 성장 사이클로서 조 절할수있으며,지름은기판의온도를조절함으로써변화시킬수있다. 이두가지요소를적절히혼합하면, 크기와 모양이 다른 여러 가지 나노 구조물 (나노 점, 나노 막대, 나노 선 등)을 손쉽게 대면적 기판 위에 제작 할수있다.