[Patent] 초 임계 유체를 이용한 루테늄 나노 구조물의 제조방법







초 임계 유체를 이용한 루테늄 나노 구조물의 제조방법, 이한보람, 김재민, 이정원, 이흥순, 김형준


요약





본 발명은 초 임계 유체 증착법 (Supercritical Fluid Deposition; SCFD)을 이용하여 기판 위에 금속 나노 구조 물을 제작하고, 그 형태와 크기를 조절하는 기술이다.





본 발명에서는 금속 나노 구조물의 형태와 크기를 기판의 온도 또는 금속 전구체의 농도를 조절함으로써 변화시 킬 수 있고, 이러한 공정기술을 이용하면, 나노 점에서 박막까지 나노 구조물의 형태와 크기를 연속적으로 변화 시키면서 손 쉽게 대면적 기판 위에 제작할 수 있으며, 평판뿐만 아니라, 입체적인 기판 위에도 제작 가능하다.