[Patent] 플라스마 원자층 증착 방법을 이용한 비촉매 코발트 나노 막대의 제 조 방법 및 반도체 소자







플라스마 원자층 증착 방법을 이용한 비촉매 코발트 나노 막대의 제조 방법 및 반도체 소자, 이한보람, 구길호, 손종역, 박찬경, 김형준


요약





본 발명은 나노 막대의 제조방법에 관한 것으로, 특히 촉매를 사용하지 않으며 단순한 공정을 통해 금속 나노 막 대를제조할수있는방법을제공하는것을목적으로한다.


상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 플라스마 원자층 증착법에 사용되는 반응가스의 조절을 통해 자기 조립 나 노 막대를 형성하는 방법을 제공한다.


본 발명의 실시예에서는 코발트 전구체로 CoCp2를 사용하고, 퍼징가스로 아르곤 가스, 그리고 반응가스로 암모니





아와 모노실란의 혼합가스의 플라스마를 사용하여 직경 약 10 nm 내외, 길이 50 ~ 60 nm의 나노 막대를 형성하였 다.