[Patent] 2차원 물질의 표면기능화를 이용한 고유전체 박막 제조방법

image

김형준, 이한보람, 오일권, 박종서

요약

본 발명은 2차원 물질의 표면기능화를 이용한 고유전체 박막 제조방법에 관한 것으로, (i) 2차원 물질을 기판으로 준비하는 단계; (ii) 상기 기판에 표면기능화를 하는 단계; (iii) 상기 표면기능화한 기판 위에 고유전체 박막을 제조하는 단계; 를 포함하여 이루어지고, 상기 (ii)단계에서 표면기능화는 수소 플라즈마를 이용하여 수행하는 것을 특징으로 하는 2차원 물질의 표면기능화를 이용한 고유전체 박막 제조방법을 제공한다. 상기 본 발명에 따르면, 기판 데미지 없이 고품질, 고유전체 박막을 얻을 수 있다.