[Patent]원자층 증착법을 이용한 나노선의 제조 방법

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원자층 증착법을 이용한 나노선의 제조 방법, 이한보람

요약

본 발명은 원자층 증착법을 이용하여 기재 상에 나노선을 제조하는 방법에 관한 것이다.
특히, 본 발명의 백금 나노선 제조 방법은 대면적 기판에서도 손쉽게 사용할 수 있으며, 나노선의 크기와 모양을 손쉽게 조절 가능하며 다른 물질을 첨가할 수 있기 때문에 다기능성 촉매를 만들기에 적합하다.