[Patent] 기능성 필터 및 그 제조방법

기능성필터 및 그 제조방법 (국제특허)

김형준, 이한보람, 오일권, 윤창모

요약서

본 발명은 다공성 기재 및 상기 다공성 기재의 표면 상에 원자층 박막 증착법(ALD)에 의해 형성된 희토류 금속 산화물 박막을 포함하고, 상기 희토류 금속 산화물 박막은 상기 희토류 금속 산화물 박막의 두께에 따라 표면에너지가 조절되어 소수성 특성이 변화하는 것을 특징으로 하는 기능성 필터 및 그 제조방법을 개시한다.